智能洁净室技术为IC制造保驾护航

——访中电四公司市场管理总经理张琪

       随着市场环境的优化升级和国家政策的有利驱动，新能源汽车、智能驾驶、智能终端和5G等对集成电路的需求激增。而作为典型的高精尖产业，集成电路的制造对生产环境和工艺的要求苛刻。其中，洁净室的建设是集成电路制造中的关键环节，对产品的性能具有至关重要的影响。

       作为我国专业从事洁净室机电设备安装的工程公司之一，中国电子系统工程第四建设有限公司（以下简称“中电四公司"）可为集成电路制造企业提供设计、采购、项目管理、施工、设施管理、洁净室配套产品制造等一体化“交钥匙"工程服务。

       2021年，在为北京集电控股有限公司（以下简称“北京集电"）建设集成电路车间洁净室项目中，中电四公司为满足客户对环境监测的高精度和高稳定性要求，选择与维萨拉合作，将工业用温湿度变送器HMT330、温湿度变送器HMT370EX和温湿度变送器HMT120等系列产品，成功应用于北京集电厂房洁净室。自应用以来，相关仪表和变送器运行稳定，测量准确。

纤毫必显 打造高标准的洁净车间

       穿戴严密封闭的特制防护服和鞋套，经过严格的车间消杀流程，再通过数道相互独立隔离的车间闸门，操作员方能进入标准严苛的集成电路厂房洁净室。不同于一般工业品，集成电路从单晶硅片制造到IC制造再到IC封装的重要步骤，均需在洁净室中完成。无论是微小的粉尘和碎屑，还是无形的环境温度和湿度等，都将对制造过程产生重大影响。

       “集成电路的制造对生产环境的要求非常高，需要对温度、湿度等参数进行准确、稳定的测量，从而确保生产环境的稳定可靠。"中电四公司市场管理总经理张琪表示，“2020年，早在北京集电洁净室项目的投标阶段，我们知道维萨拉的相关产品客户对温湿度测量的苛刻需求。于是，我们决定采用维萨拉产品作为测量仪表进行投标，由此也开启了与维萨拉一系列的深度合作。"

       随着我国集成电路制造工艺的升级，其制造过程需要的洁净程度也水涨船高，这对于洁净室的建设提出了越来越高的要求。据介绍，北京集电所制造的集成电路工艺目前已突破28纳米，对应的洁净室环境温度误差为±0.3°C，湿度误差为±3。一旦温度和湿度突破限定误差，将显著影响产品的良品率、使用性能和可靠性。

       针对上述应用环境，维萨拉的多款产品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在恶劣环境中和苛刻需求下实现测量，还可针对不同的应用环境实现定制，从而满足多样的客户需求。HMT120则是一款专为洁净室等环境打造的温湿度变送器，智能测量探头可现场更换，轻松实现测量的可追溯性。

       值得一提的是具有“本质"功能的温湿度变送器HMT370EX。即使在误操作或发生故障的情况下，这款产品也不会造成事故或设备损坏。截至目前，该产品已获得多项本质认证。除测量相对湿度和温度外，HMT370EX还支持输出其他湿度参数，如露点温度、湿球温度、湿度、混合比、水浓度、水质量分数、水汽压和焓值。

       “维萨拉产品的测量精度不仅洁净室的设计标准，更大幅压缩了标准误差的范围：将其降低至误差的三分之一，达到了湿度±1、温度±0.1°C，充分保障了洁净室的可靠运行。"张琪补充道，“出于项目整体精度和稳定性的考虑，维萨拉的测量仪表成为我们这个项目的理想选择。"

击破阻隔 跨越重洋的迅疾响应

       对于高精尖的工程建设而言，时效的重要性不言而喻。项目所需的各项产品和材料往往有着严格的供货周期，某项关键材料的缺失，将直接影响项目的进度。而全球疫情的起伏不定，给产品的供货时效增添了一抹不确定性。

       “国际物流需提前预定，叠加疫情影响，一些材料和产品需要提前半年甚至更久预定。"张琪表示，“然而北京集电的项目周期非常紧张，高质量的测量产品对项目的完成意义重大，我们一度非常担心维萨拉的产品能否及时到货。"

       事急从权。在产品供货紧张的背景下，维萨拉及其代理商配合，在与中电四公司达成初步购买意向、尚未签署正式购买合同时，提前锁定了项目所需的产品，并充分协调内外部资源，将产品如期送抵客户手中。

       “北京集电的项目如期竣工，各项指标均达到了预期水平。截至目前，相关项目设备运行稳定，客户未反馈任何售后需求。而没有售后需求，也是对我们产品质量的高度认可。"谈及双方的合作过程，张琪感触良多，“为了我们的项目，维萨拉的对接同事克服了很多困难，给予了支持。这增进了我们双方的信任，让我们很感动，也为后续的合作奠定了良好的基础。"

       每年，像洁净室建设之类的专业承包约占中电四公司总工程量的50。特别是在超大面积洁净室、超净洁净室、高空间洁净室、超精度洁净室的建设方面，中电四公司有着丰富的工程经验和相关工程技术。

       与此同时，维萨拉也凭借着稳定可靠的产品性能、过硬的产品和快速响应的服务，赢得了中电四公司的青睐与信任。相信在不远的未来，维萨拉将与中电四公司开展更为深入的战略合作，助力双方的品牌出现在更多高精尖产品的打造和应用场景之中。